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       真空擴散泵機組的特點是抽氣能力大，抽速從190L/S至49000L/S范圍內(nèi)可供選擇；并可長時間穩(wěn)定連續(xù)工作。擴散泵系列真空機組被應用在電子、化工、冶金、航空、航天、材料、生物、原子能、宇宙探測等高科技領域。如各真空爐、真空鍍膜設備、真空冷凍干燥設備等。典型真空機組是用氣動閥門程序控制。
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